我這邊有幾個問題想要跟唐政委請教，我們公司是做化學濾網的，我們的化學濾網是放在先進製程的無塵室天花板裡面，以風機帶動，透過風經過這個化學濾網將化學氣體吸附起來，在製程上不會影響到晶圓，讓良率可以提升，所以一定要非常先進的製程才可以用到這樣的濾網，不然除塵就好了，不需要控制到氣體。
我這邊有幾個問題想要跟唐政委請教，我們公司是做化學濾網的，我們的化學濾網是放在先進製程的無塵室天花板裡面，以風機帶動，透過風經過這個化學濾網將化學氣體吸附起來，在製程上不會影響到晶圓，讓良率可以提升，所以一定要非常先進的製程才可以用到這樣的濾網，不然除塵就好了，不需要控制到氣體。