我很快花2、3分鐘介紹一下什麼是微機電，微機電(MEMS)跟半導體其實是非常接近，半導體是做IC的電路，微機電技術會透過一些蝕刻製程把元件釋放之後可以變成可動的機械結構，也就是可以變成傳感器(Transducers)，也就是致動與感測。最近十年來在感測器領域的發展非常蓬勃，也深入到各個應用層面，其所蒐集的感測數據之後透過AI會進行不同的應用情境，例如智慧製造，像方老師實驗室製作的運動感測器，如加速度計、陀螺儀、地磁計、及壓力計等，整個發展其實是基於諾貝爾得主Richard Feynman在1959年在物理年會發表的演說「There’s plenty of room at the bottom」，意思就是在晶圓底下有很多可能性，除了電子電路之外，還有微機械的元件跟傳感器。